-
公开(公告)号：CN103117242A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201210436958.6
申请日：2012-11-05
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68735 , H01L21/67069 , H01L21/6719 , Y10T29/49826 , Y10T29/49863 , Y10T29/53 , Y10T29/53657
摘要： 本发明提供了一种包含安装固定件、多个机械紧固件和嵌入工具的套件，使得能够以使弹性体带的内应力释放的方式将弹性体带设置在围绕半导体衬底支撑件的安装槽中，导致弹性体带具有较长的运行寿命。用机械紧固件将该安装固定件固定到衬底支撑件上。将弹性体带围绕安装固定件的外周缘设置，并来回转动以释放该弹性体带的内应力。将该固定件倒转，并使该弹性体带垂直滑动离开该固定件并进入安装槽中。可以使用嵌入工具将该弹性体带全部嵌入到安装槽中。
-
公开(公告)号：CN103681415A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310431916.8
申请日：2013-09-22
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/6833 , B08B1/00 , B08B5/00 , B08B5/02 , B08B7/00 , B08B7/0071
摘要： 本发明涉及从静电卡盘去除损坏的环氧树脂的方法，具体提供了一种从静电卡盘去除环氧树脂带的方法，该方法包括将所述静电卡盘固定在维修装置中；将热源施加到所述环氧树脂带以使将所述环氧树脂带固定到所述静电卡盘上的多个黏附接合部断裂；在所述环氧树脂带中形成孔；以及将所述环氧树脂带从所述静电卡盘拉走。本发明还描述了一种用于从静电卡盘去除环氧树脂带的系统。
-
公开(公告)号：CN103681415B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201310431916.8
申请日：2013-09-22
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/6833 , B08B1/00 , B08B5/00 , B08B5/02 , B08B7/00 , B08B7/0071
摘要： 本发明涉及从静电卡盘去除损坏的环氧树脂的方法，具体提供了一种从静电卡盘去除环氧树脂带的方法，该方法包括将所述静电卡盘固定在维修装置中；将热源施加到所述环氧树脂带以使将所述环氧树脂带固定到所述静电卡盘上的多个黏附接合部断裂；在所述环氧树脂带中形成孔；以及将所述环氧树脂带从所述静电卡盘拉走。本发明还描述了一种用于从静电卡盘去除环氧树脂带的系统。
-
公开(公告)号：CN103117242B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201210436958.6
申请日：2012-11-05
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68735 , H01L21/67069 , H01L21/6719 , Y10T29/49826 , Y10T29/49863 , Y10T29/53 , Y10T29/53657
摘要： 本发明提供了一种包含安装固定件、多个机械紧固件和嵌入工具的套件，使得能够以使弹性体带的内应力释放的方式将弹性体带设置在围绕半导体衬底支撑件的安装槽中，导致弹性体带具有较长的运行寿命。用机械紧固件将该安装固定件固定到衬底支撑件上。将弹性体带围绕安装固定件的外周缘设置，并来回转动以释放该弹性体带的内应力。将该固定件倒转，并使该弹性体带垂直滑动离开该固定件并进入安装槽中。可以使用嵌入工具将该弹性体带全部嵌入到安装槽中。
-
-
-
搜索结果
4 条记录 (耗时 0.021 秒)
