金属凸块及其制造方法
摘要:
本发明提供了一种凸块结构的实施例,包括:形成在衬底上的接触元件;覆盖衬底的钝化层,钝化层具有露出接触元件的钝化开口;覆盖钝化层的聚酰亚胺层,聚酰亚胺层具有露出接触元件的聚酰亚胺开口;电连接至接触元件的凸块下金属化层(UBM)部件,凸块下金属化层部件具有UBM宽度;以及位于凸块下金属化层部件上的铜柱,铜柱的远端具有铜柱宽度,并且UMB宽度大于铜柱宽度。本发明还提供了一种形成凸块结构的方法。
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