发明公开
- 专利标题: 一种二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统
- 专利标题(英): Two-degree-of-freedom homodyne grating interferometer displacement measurement system
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申请号: CN201410031123.1申请日: 2014-01-23
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公开(公告)号: CN103759654A公开(公告)日: 2014-04-30
- 发明人: 刘召 , 朱煜 , 张鸣 , 吴亚风 , 王磊杰 , 成荣 , 穆海华 , 胡金春 , 徐登峰 , 尹文生 , 胡楚雄 , 杨开明 , 祁利山
- 申请人: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 专利权人: 清华大学,北京华卓精科科技有限公司
- 当前专利权人: 清华大学,北京华卓精科科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 代理机构: 北京鸿元知识产权代理有限公司
- 代理商 邸更岩
- 主分类号: G01B11/02
- IPC分类号: G01B11/02
摘要:
一种二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统,包括光栅干涉仪、测量光栅、预处理单元和信号处理单元;光栅干涉仪包括激光管、侧向位移分光棱镜、偏振分光棱镜、四分之一波片、参考光栅、折光元件及四通道零差结构;该系统基于光栅衍射、光学多普勒和零差信号处理实现位移测量。光栅干涉仪输出光信号至预处理单元,转换为电信号至信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时,系统可输出两个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学四细分,能够实现亚纳米甚至更高分辨率,可测两个线性位移。采用零差信号处理,可消除直流分量和幅值变化带来的影响,具有对环境不敏感、测量精度高等优点。
公开/授权文献
- CN103759654B 一种二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统 公开/授权日:2016-09-28