一种二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统
摘要:
一种二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统,包括光栅干涉仪、测量光栅、预处理单元和信号处理单元;光栅干涉仪包括激光管、侧向位移分光棱镜、偏振分光棱镜、四分之一波片、参考光栅、折光元件及四通道零差结构;该系统基于光栅衍射、光学多普勒和零差信号处理实现位移测量。光栅干涉仪输出光信号至预处理单元,转换为电信号至信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时,系统可输出两个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学四细分,能够实现亚纳米甚至更高分辨率,可测两个线性位移。采用零差信号处理,可消除直流分量和幅值变化带来的影响,具有对环境不敏感、测量精度高等优点。
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