发明授权
- 专利标题: 鳍式场效应晶体管及其形成方法
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申请号: CN201210406252.5申请日: 2012-10-22
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公开(公告)号: CN103779220B公开(公告)日: 2016-05-25
- 发明人: 冯军宏 , 徐依协 , 甘正浩
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路新技术研发(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 骆苏华
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336 ; H01L29/78 ; H01L29/06
摘要:
一种鳍式场效应晶体管及其形成方法,所述形成方法包括:形成鳍部结构后,在所述鳍部结构顶部表面形成第一凹槽,所述第一凹槽侧壁的鳍部结构形成第一鳍部;在所述第一凹槽底部表面形成第二凹槽,所述第二凹槽侧壁的鳍部结构形成第二鳍部;将所述第一鳍部、第二鳍部的顶角变成圆弧形。由于所述鳍部结构的顶部表面被刻蚀形成若干个第一鳍部和第二鳍部,使得最终形成的鳍部结构的表面积远远大于现有的剖面形状为矩形的鳍部的表面积,有利于提高鳍式场效应晶体管的沟道区面积,从而有利于提高驱动电流。且所述第一鳍部、第二鳍部的顶角变成圆弧形,能有效地避免部分沟道区的电流过大导致器件过热。
公开/授权文献
- CN103779220A 鳍式场效应晶体管及其形成方法 公开/授权日:2014-05-07
IPC分类: