发明公开
- 专利标题: 一种主动式气浮支承装置
- 专利标题(英): Active air-floatation support device
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申请号: CN201410100961.X申请日: 2014-03-18
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公开(公告)号: CN103836070A公开(公告)日: 2014-06-04
- 发明人: 姜伟 , 陈学东 , 罗欣 , 曾理湛
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 武汉格蓝若精密技术有限公司
- 当前专利权人地址: 430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷六路88号光谷创新天地B12栋T4单元7层01室
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 梁鹏
- 主分类号: F16C32/06
- IPC分类号: F16C32/06
摘要:
本发明公开了一种主动式气浮支承装置,包括气浮支承本体、气膜主动调节单元、支承本体检测单元和驱动控制单元,其中支承本体检测装置测量气浮支承的状态,驱动控制系统根据检测信号生成控制信号,驱动控制气膜主动调节装置产生主动作用,动态调节气浮支承表面的气膜形态,由此动态调整气浮支承装置的气膜间隙压强分布,从而提高气浮支承的动刚度特性。通过本发明,能够显著提高气浮支承的动刚度特性,并达到稳定气浮支承的目的;此外,按照本发明的主动式气浮支承装置还具备结构紧凑、便于操控和高精度的特点,因而尤其适用于对支承动刚度要求高的超精密加工或高速主轴等场合。
公开/授权文献
- CN103836070B 一种主动式气浮支承装置 公开/授权日:2016-07-13