发明公开
- 专利标题: 用于材料共沉积的气相传输沉积方法及系统
- 专利标题(英): Vapor transport deposition method and system for material co-deposition
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申请号: CN201280056744.4申请日: 2012-11-07
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公开(公告)号: CN104053811A公开(公告)日: 2014-09-17
- 发明人: 约翰·巴顿 , 瑞克·C·鲍威尔
- 申请人: 第一太阳能有限公司
- 申请人地址: 美国俄亥俄州佩里斯堡
- 专利权人: 第一太阳能有限公司
- 当前专利权人: 第一太阳能有限公司
- 当前专利权人地址: 美国俄亥俄州佩里斯堡
- 代理机构: 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 王占杰; 韩芳
- 优先权: 61/561,691 2011.11.18 US
- 国际申请: PCT/US2012/063848 2012.11.07
- 国际公布: WO2013/074345 EN 2013.05.23
- 进入国家日期: 2014-05-19
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24 ; C23C14/22 ; C03C17/00 ; C23C14/56 ; H01L31/18
摘要:
一种改进的用于持续气相传输沉积的方法和给料器系统,所述给料器系统包括通过改进的密封件结合到共同的分配器的至少两个蒸发器,以用于分别蒸发和收集至少任何两种可蒸发材料,以使材料在基底上沉积为材料层。多个蒸发器提供冗余操作并允许在蒸发器维修和修理期间持续沉积。
公开/授权文献
- CN104053811B 用于材料共沉积的气相传输沉积方法及系统 公开/授权日:2017-04-12
IPC分类: