用于材料共沉积的气相传输沉积方法及系统
摘要:
一种改进的用于持续气相传输沉积的方法和给料器系统,所述给料器系统包括通过改进的密封件结合到共同的分配器的至少两个蒸发器,以用于分别蒸发和收集至少任何两种可蒸发材料,以使材料在基底上沉积为材料层。多个蒸发器提供冗余操作并允许在蒸发器维修和修理期间持续沉积。
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