带有透明电极的基板及其制造方法
摘要:
本发明涉及一种带有透明电极的基板,该基板在透明膜基材的至少一面具有透明电极层。透明膜基材在透明电极层侧的表面具有以氧化物为主成分的透明电介质层。在一个实施方式中,透明电极层为结晶度为80%以上的结晶质透明电极层。在该实施方式中,结晶质透明电极层的电阻率为3.5×10‑4Ω·cm以下,膜厚为15nm~40nm,氧化铟的含量为87.5%~95.5%,载流子密度为4×1020/cm3~9×1020/cm3,且优选带有透明电极的基板的利用热机械分析测定的热收缩起始温度为75℃~120℃。
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