发明公开
- 专利标题: 消影玻璃中折射率匹配层的连续沉积方法
- 专利标题(英): Continuous deposition method of refractive index matching layer in shadow eliminating glass
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申请号: CN201410391818.0申请日: 2014-08-11
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公开(公告)号: CN104120398A公开(公告)日: 2014-10-29
- 发明人: 徐根保 , 王芸 , 张宽翔 , 曹欣 , 姚婷婷 , 杨勇 , 金克武 , 蒋继文
- 申请人: 中国建材国际工程集团有限公司 , 蚌埠玻璃工业设计研究院
- 申请人地址: 上海市普陀区中山北路2000号中期大厦27层
- 专利权人: 中国建材国际工程集团有限公司,蚌埠玻璃工业设计研究院
- 当前专利权人: 中国建材国际工程集团有限公司,蚌埠玻璃工业设计研究院
- 当前专利权人地址: 上海市普陀区中山北路2000号中期大厦27层
- 代理机构: 上海硕力知识产权代理事务所
- 代理商 王法男
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/10 ; C23C14/06
摘要:
一种消影玻璃中折射率匹配层的连续沉积方法,包括(a)使用第一工作气体对靶材进行溅射,以使得所述靶材材料的原子沉积在基片上;并且(b)使用第二工作气体对所述靶材进行溅射,以使得所述靶材材料的原子沉积在所述基片上。本发明采用磁控溅射法在不换靶的情况下,仅通过改变通入的气体就可以实现折射率匹配层的制备,结构简单,制备方便,成本低,可以有效消除刻蚀阴影,有利于企业大规模生产。
公开/授权文献
- CN104120398B 消影玻璃中折射率匹配层的连续沉积方法 公开/授权日:2019-09-10
IPC分类: