摘要:
本发明公开了一种微阀及利用该微阀控制微流体输运的方法,该微阀包括压电基片,压电基片的工作表面上设置有叉指换能器,且位于叉指换能器激发的声表面波的声传输路径上设置有第一PDMS微槽,第一PDMS微槽的顶端开口上覆盖有导热金属片,导热金属片的上表面上设置有第二PDMS微槽,第二PDMS微槽的顶端开口上连接有PDMS软薄片,第二PDMS微槽的顶端上连接有PDMS聚合体,PDMS聚合体中软光刻有两条微通道,PDMS聚合体的底端与PDMS软薄片位置相对应处开设有与微通道连通的缺口,且缺口的边缘与PDMS软薄片密封连接;优点是无需气泵等体积较大的控制设备,利用声表面波就可实现微阀的开启与关闭,不仅使得微阀的结构简单、体积小,易集成于微流器件中,且响应速度快。
公开/授权文献
- CN104180015A 一种微阀及利用该微阀控制微流体输运的方法 公开/授权日:2014-12-03