Invention Grant
- Patent Title: 半导体器件
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Application No.: CN201410226036.1Application Date: 2014-05-26
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Publication No.: CN104183562BPublication Date: 2018-07-24
- Inventor: 石井泰之 , 茶木原启
- Applicant: 瑞萨电子株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 瑞萨电子株式会社
- Current Assignee: 瑞萨电子株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京市金杜律师事务所
- Agent 王茂华; 张宁
- Priority: 2013-110476 2013.05.27 JP
- Main IPC: H01L23/48
- IPC: H01L23/48 ; H01L23/522 ; H01L23/528 ; H01L25/16

Abstract:
改善半导体器件的性能。一种半导体器件具有彼此远离地形成在半导体衬底之上的第一电极和虚设电极、形成在第一电极和虚设电极之间、第一电极的周缘侧表面处以及虚设电极的周缘侧表面处的第二电极、以及形成在第一电极和第二电极之间的电容性绝缘膜。第一电极、第二电极和电容性绝缘膜形成电容性元件。此外,半导体器件具有第一插塞和第二插塞,第一插塞穿透层间绝缘膜并与第一电极电耦合,第二插塞穿透层间绝缘膜并与形成在与第一电极侧相对的虚设电极的侧表面处的第二电极的部分电耦合。
Public/Granted literature
- CN104183562A 半导体器件 Public/Granted day:2014-12-03
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IPC分类: