发明授权
- 专利标题: 一种气体质量流量计
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申请号: CN201410491316.5申请日: 2014-09-23
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公开(公告)号: CN104198004B公开(公告)日: 2017-10-31
- 发明人: 张召 , 王智 , 苏俊铭 , 倪立华
- 申请人: 上海华力微电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号
- 专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 王宏婧
- 主分类号: G01F1/88
- IPC分类号: G01F1/88
摘要:
本发明涉及一种气体质量流量计,依次包括加热电桥传感器、第一放大器、电压比较器以及第二放大器,所述加热电桥传感器检测气体管道中的气体流量并转换为电压信号,所述的电压信号经过第一放大器放大,与初始的设定电压值在所述电压比较器中进行比较,二者的差值经过所述第二放大器的放大,作为执行机构的第一反馈控制信号;还包括压力传感器,所述压力传感器设置于所述气体管道内,所述压力传感器检测到的气体的压力信号,作为执行机构的第二反馈控制信号,所述第一、第二反馈控制信号共同调节所述气体管道中的气体流量。本发明利用压力传感器与加热桥传感器相互关联,实现对气体质量流量计的零点监控,确保实际的气体质量流量与设定值相符。
公开/授权文献
- CN104198004A 一种气体质量流量计 公开/授权日:2014-12-10