发明公开
- 专利标题: 薄膜晶体管及薄膜晶体管的制造方法
- 专利标题(英): Thin film transistor and method for manufacturing thin film transistor
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申请号: CN201380016026.9申请日: 2013-03-18
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公开(公告)号: CN104221154A公开(公告)日: 2014-12-17
- 发明人: 下田达也 , 井上聪 , 潘仲慧 , 宫迫毅明 , 李金望
- 申请人: 独立行政法人科学技术振兴机构
- 申请人地址: 日本埼玉县川口市
- 专利权人: 独立行政法人科学技术振兴机构
- 当前专利权人: 国立研究开发法人科学技术振兴机构
- 当前专利权人地址: 日本埼玉县川口市
- 代理机构: 北京北翔知识产权代理有限公司
- 代理商 钟守期; 杨勇
- 优先权: 2012-068133 2012.03.23 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/057621 2013.03.18
- 国际公布: WO2013/141197 JA 2013.09.26
- 进入国家日期: 2014-09-23
- 主分类号: H01L29/786
- IPC分类号: H01L29/786 ; H01L21/28 ; H01L21/336 ; H01L29/423 ; H01L29/49
摘要:
本发明的一种薄膜晶体管(100),在栅极(20)和沟道(44)之间具备作为包含镧和锆的氧化物(可包含不可避免的杂质;这一点对于氧化物均相同)的栅绝缘层(34),沟道(44)是由包含铟和锌,并且包含将铟作为1时原子数比为0.015以上且0.075以下的锆(Zr)的第一氧化物;包含铟,并且包含将所述铟(In)作为1时原子数比为0.055以上且0.16以下的锆(Zr)的第二氧化物;或者包含铟,并且包含将所述铟作为1时原子数比为0.055以上且0.16以下的镧的第三氧化物,构成的沟道用氧化物。
公开/授权文献
- CN104221154B 薄膜晶体管及薄膜晶体管的制造方法 公开/授权日:2018-11-13
IPC分类: