发明公开
- 专利标题: 输送系统
- 专利标题(英): CONVEYANCE SYSTEM
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申请号: CN201380016960.0申请日: 2013-03-07
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公开(公告)号: CN104245541A公开(公告)日: 2014-12-24
- 发明人: 山本真
- 申请人: 村田机械株式会社
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 村田机械株式会社
- 当前专利权人: 村田机械株式会社
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 舒艳君; 田军锋
- 优先权: 2012-086392 2012.04.05 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/056346 2013.03.07
- 国际公布: WO2013/150859 JA 2013.10.10
- 进入国家日期: 2014-09-26
- 主分类号: B65G1/04
- IPC分类号: B65G1/04 ; B65G1/00 ; B65G35/08 ; B65G49/07 ; H01L21/677
摘要:
本发明提供一种输送系统。该输送系统(100)具备:收纳架(20),设置于半导体制造装置(60)、(62)的附近,收纳架(20)收纳被输送物(10);堆垛起重机(30),在收纳架(20)中进行被输送物(10)的搬入以及搬出;运载装置(40),输送被输送物(10);ID标签阅读器(R),设置于堆垛起重机(30),ID标签阅读器(R)读取被输送物(10)的ID标签(T);以及控制器(50),在通过IT标签阅读器(R)获取的识别信息和被输送物(10)的输送指令所包含的信息一致的情况下,以将被输送物(10)输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机(30),收纳架(20)的至少一部分能够通过运载装置(40)的夹具(44)进行被输送物(10)的取放。
公开/授权文献
- CN104245541B 输送系统 公开/授权日:2016-03-23
IPC分类: