发明公开

输送系统
摘要:
本发明提供一种输送系统。该输送系统(100)具备:收纳架(20),设置于半导体制造装置(60)、(62)的附近,收纳架(20)收纳被输送物(10);堆垛起重机(30),在收纳架(20)中进行被输送物(10)的搬入以及搬出;运载装置(40),输送被输送物(10);ID标签阅读器(R),设置于堆垛起重机(30),ID标签阅读器(R)读取被输送物(10)的ID标签(T);以及控制器(50),在通过IT标签阅读器(R)获取的识别信息和被输送物(10)的输送指令所包含的信息一致的情况下,以将被输送物(10)输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机(30),收纳架(20)的至少一部分能够通过运载装置(40)的夹具(44)进行被输送物(10)的取放。
公开/授权文献
0/0