发明公开
CN104299943A 阵列基板及其制造方法和显示面板
无效 - 驳回
- 专利标题: 阵列基板及其制造方法和显示面板
- 专利标题(英): Array substrate, manufacturing method thereof and display panel
-
申请号: CN201410473275.7申请日: 2014-09-16
-
公开(公告)号: CN104299943A公开(公告)日: 2015-01-21
- 发明人: 魏悦 , 陆忠 , 青海刚 , 熊黎 , 傅永义 , 蒋冬华
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 彭瑞欣; 陈源
- 主分类号: H01L21/77
- IPC分类号: H01L21/77 ; H01L27/12
摘要:
本发明提供一种阵列基板的制造方法,所述阵列基板包括像素区和环绕所述像素区的外围区,所述像素区内设置有薄膜晶体管,所述外围区设置有引线,其中,该阵列基板的制造方法包括:形成包括所述薄膜晶体管的源极和漏极的图形;形成平坦化层;形成包括第一透明电极的图形;形成第一过孔,所述第一过孔贯穿所述第一透明电极和所述平坦化层,以暴露所述薄膜晶体管的漏极。本发明还提供一种阵列基板以及一种显示面板。利用所述制造方法制造的阵列基板的平坦化层上不存在云纹缺陷。
IPC分类: