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半导体器件的制造方法
Abstract:
一种半导体器件的制造方法,在布线衬底上,通过粘接材料分别层叠俯视时的平面尺寸不同的第一半导体芯片和第二半导体芯片,其中,在平面尺寸相对小的第一半导体芯片上搭载平面尺寸相对大的第二半导体芯片。另外,搭载了第一及第二半导体芯片之后,用树脂封固第一及第二半导体芯片。这里,第二半导体芯片和布线衬底的间隙用树脂封固之前,预先通过搭载第一及第二半导体芯片时使用的粘接材料填塞。
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