发明授权
CN104347335B 铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置
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申请号: CN201410389960.1申请日: 2014-08-08
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公开(公告)号: CN104347335B公开(公告)日: 2017-11-10
- 发明人: 小堺智一 , 松田修 , 杉山安彦 , 相田和男 , 荒卷文朗 , 八坂行人 , 大庭弘
- 申请人: 日本株式会社日立高新技术科学
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 日本株式会社日立高新技术科学
- 当前专利权人: 日本株式会社日立高新技术科学
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 李辉; 黄纶伟
- 优先权: 2013-167130 2013.08.09 JP
- 主分类号: H01J37/02
- IPC分类号: H01J37/02 ; H01J37/073
摘要:
本发明提供铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置。本发明能够位置再现性良好地制作形成于铱针尖的前端部的前端为1个原子的角锥结构,既能够使得杂质不易附着,又能够长时间保持前端的1个原子。铱针尖在锐化的<210>方位的单晶的前端部具有角锥结构,该角锥结构的前端仅通过{210}方位的1个铱原子形成,该铱原子由1个{100}结晶面和2个{111}结晶面包围。将形成角锥结构的前端的1个铱原子作为第1层,第1层的正下方的第2层具有位于三角形的顶点的3个铱原子,第2层的正下方的第3层具有位于三角形的顶点和边的6个铱原子。
公开/授权文献
- CN104347335A 铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置 公开/授权日:2015-02-11