光学指纹传感器芯片封装玻璃光栅及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种光学指纹传感器芯片封装玻璃光栅及其制作方法,将光栅做在玻璃上,光学指纹传感器芯片感光单元加工完的晶圆封装时,直接将玻璃贴到所述晶圆上,感光单元对应开孔,光栅的不透光的成分为金属,电路部分被金属覆盖。结构和工艺简单、精度高。
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