- 专利标题: 光学指纹传感器芯片封装玻璃光栅及其制作方法
- 专利标题(英): Optical fingerprint sensor chip packaging glass grating and manufacturing method for same
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申请号: CN201410589002.9申请日: 2014-10-28
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公开(公告)号: CN104347527A公开(公告)日: 2015-02-11
- 发明人: 冯建中
- 申请人: 北京思比科微电子技术股份有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区上地五街7号昊海大厦二层201室
- 专利权人: 北京思比科微电子技术股份有限公司
- 当前专利权人: 北京思比科微电子技术股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区上地五街7号昊海大厦二层201室
- 代理机构: 北京凯特来知识产权代理有限公司
- 代理商 郑立明; 赵镇勇
- 主分类号: H01L23/08
- IPC分类号: H01L23/08 ; G02B5/18
摘要:
本发明公开了一种光学指纹传感器芯片封装玻璃光栅及其制作方法,将光栅做在玻璃上,光学指纹传感器芯片感光单元加工完的晶圆封装时,直接将玻璃贴到所述晶圆上,感光单元对应开孔,光栅的不透光的成分为金属,电路部分被金属覆盖。结构和工艺简单、精度高。
公开/授权文献
- CN104347527B 光学指纹传感器芯片封装玻璃光栅及其制作方法 公开/授权日:2017-02-15
IPC分类: