发明公开
CN104362213A 一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法
- 专利标题(英): Aluminum gallium nitrogen-based solar blind ultraviolet detector and production method thereof
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申请号: CN201410462571.7申请日: 2014-09-11
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公开(公告)号: CN104362213A公开(公告)日: 2015-02-18
- 发明人: 张雄 , 王书昶 , 崔一平
- 申请人: 东南大学
- 申请人地址: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
- 专利权人: 东南大学
- 当前专利权人: 东南大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
- 代理机构: 南京瑞弘专利商标事务所
- 代理商 黄成萍
- 主分类号: H01L31/107
- IPC分类号: H01L31/107 ; H01L31/0352 ; H01L31/036 ; H01L31/108
摘要:
本发明公开了一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法,包括由下至上依次设置的蓝宝石衬底、AlN成核层、Alx1Ga1-x1N缓冲层、n型Alx2Ga1-x2N层、非掺杂i型Alx3Ga1-x3N吸收层、n型Alx4Iny1Ga1-x4-y1N/Alx5Iny2Ga1-x5-y2N超晶格分离层、非掺杂i型Alx6Ga1-x6N倍增层、p型Alx7Ga1-x7N层和p型GaN层,在n型Alx2Ga1-x2N层上引出n型欧姆电极,在p型GaN层上引出p型欧姆电极。本发明采用多周期n型Alx4Iny1Ga1-x4-y1N/Alx5Iny2Ga1-x5-y2N超晶格作为分离层将吸收层与倍增层分离的结构,能够有效增加倍增层中的电场,在高电场作用下可以产生均匀的雪崩倍增,有助于提高日盲紫外探测器雪崩倍增因子。
公开/授权文献
- CN104362213B 一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法 公开/授权日:2016-06-15
IPC分类: