Invention Grant
- Patent Title: 一种低电容瞬态电压抑制器件及其制作方法
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Application No.: CN201410841443.3Application Date: 2014-12-30
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Publication No.: CN104465723BPublication Date: 2017-12-19
- Inventor: 周源 , 马林宝
- Applicant: 北京燕东微电子有限公司
- Applicant Address: 北京市朝阳区东直门外西八间房万红西街2号北京燕东微电子有限公司
- Assignee: 北京燕东微电子有限公司
- Current Assignee: 北京燕东微电子有限公司
- Current Assignee Address: 北京市朝阳区东直门外西八间房万红西街2号北京燕东微电子有限公司
- Agency: 北京正理专利代理有限公司
- Agent 张雪梅
- Main IPC: H01L29/06
- IPC: H01L29/06 ; H01L21/02

Abstract:
本发明涉及一种瞬态电压抑制器件及其制造方法。该器件包括半导体衬底,形成在半导体衬底上的外延层,形成在半导体衬底和外延层之间的埋层区,和形成在所述外延层中并延伸至衬底的隔离区。该器件进一步包括TVS管,包括形成在隔离区中的基区和形成在该基区中的发射区;至少一个第一二极管,每一第一二极管包括形成在埋层区上外延区中的扩散区、形成在该扩散区中的发射区,以及形成在所述埋层区上外延区中的基区;至少一个第二二极管,每一第二二极管包括形成在隔离区中的基区,以及形成在外延区中的发射区,以及形成在半导体衬底另一侧上的第一电极,形成在外延层表面上用于形成所述瞬态电压抑制器件的金属布线层。
Public/Granted literature
- CN104465723A 一种低电容瞬态电压抑制器件及其制作方法 Public/Granted day:2015-03-25
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IPC分类: