一种厚层光刻胶涂覆装置
摘要:
厚层光刻胶涂覆装置,属于光刻技术领域,为解决现有技术无法进行上百微米的厚胶涂覆问题,承载平台上安装第一调节螺丝组,第一水平检测仪放置在承载平台上,承载平台上安装直线导轨副,其中两条导轨平行,直线导轨副上分别安装导轨滑套,两个导轨滑套通过两套高低调节组件与光刻胶涂覆移动机构相连,在光刻胶涂覆移动机构整体长度1/2处垂直安装第一推拉杆,第一推拉杆的另一侧通过万向轴承的一侧相连,第一推拉杆与第二推拉杆成一条直线,第二推拉杆与直线电机动子相连,直线电机定子固定在承载平台上;光学基底承载台安装在直线导轨副中间,其上放置光学基底,在光学基底承载台上安装第二调节螺丝组,第二水平检测仪设置在光学基底承载台上。
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