发明公开
CN104503209A 一种厚层光刻胶涂覆装置
无效 - 撤回
- 专利标题: 一种厚层光刻胶涂覆装置
- 专利标题(英): Thick-layer photoresist coating device
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申请号: CN201410798319.3申请日: 2014-12-19
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公开(公告)号: CN104503209A公开(公告)日: 2015-04-08
- 发明人: 李文昊 , 杨硕 , 巴音贺希格 , 齐向东 , 赵旭龙 , 姜岩秀 , 焦庆斌
- 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址: 吉林省长春市东南湖大路3888号
- 专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市东南湖大路3888号
- 代理机构: 长春菁华专利商标代理事务所
- 代理商 刘慧宇
- 主分类号: G03F7/16
- IPC分类号: G03F7/16
摘要:
厚层光刻胶涂覆装置,属于光刻技术领域,为解决现有技术无法进行上百微米的厚胶涂覆问题,承载平台上安装第一调节螺丝组,第一水平检测仪放置在承载平台上,承载平台上安装直线导轨副,其中两条导轨平行,直线导轨副上分别安装导轨滑套,两个导轨滑套通过两套高低调节组件与光刻胶涂覆移动机构相连,在光刻胶涂覆移动机构整体长度1/2处垂直安装第一推拉杆,第一推拉杆的另一侧通过万向轴承的一侧相连,第一推拉杆与第二推拉杆成一条直线,第二推拉杆与直线电机动子相连,直线电机定子固定在承载平台上;光学基底承载台安装在直线导轨副中间,其上放置光学基底,在光学基底承载台上安装第二调节螺丝组,第二水平检测仪设置在光学基底承载台上。
IPC分类: