发明公开
CN104541355A 观察装置以及光轴调整方法
失效 - 放弃专利权
- 专利标题: 观察装置以及光轴调整方法
- 专利标题(英): Observation device and light axis adjustment method
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申请号: CN201380041387.9申请日: 2013-07-01
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公开(公告)号: CN104541355A公开(公告)日: 2015-04-22
- 发明人: 大南佑介 , 许斐麻美 , 河西晋佐 , 伊东佑博
- 申请人: 株式会社日立高新技术
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人: 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 张敬强; 严星铁
- 优先权: 2012-184844 2012.08.24 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/067968 2013.07.01
- 国际公布: WO2014/030435 JA 2014.02.27
- 进入国家日期: 2015-02-04
- 主分类号: H01J37/18
- IPC分类号: H01J37/18 ; H01J37/04 ; H01J37/16 ; H01J37/20
摘要:
以往的带电粒子线装置均为专用于大气压下或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察而被制造的装置,不存在能够使用通常的高真空型带电粒子显微镜而简便地进行大气压或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察的装置。并且,在以往的方法中,无法相对于载置于上述的氛围下的试样的相同的位置同时地进行基于带电粒子线与光的观察。因此,在本发明中,具备:将一次带电粒子线照射至试样的带电粒子光学镜筒、对带电粒子光学镜筒的内部进行抽真空的真空泵、配置为对载置有试样的空间与带电粒子光学镜筒进行隔离并供一次带电粒子线透射或者通过的能够装卸的隔膜、以及相对于隔膜以及试样配置于带电粒子光学镜筒的相反的一侧并在带电粒子光学镜筒的光轴的延长线上具有光轴的至少一部分的光学显微镜。