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公开(公告)号：CN103210467B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201180054529.6
申请日：2011-11-21
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/305 , G01N1/28 , G01N1/36 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/3053 , H01J37/20 , H01J2237/2001 , H01J2237/20207 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745
摘要： 提供一种离子铣削装置以及离子铣削加工方法，通过使试料(3)相对于离子束(2)的光轴(Z轴)倾斜振动，重复进行在如下两状态间的试料(3)的加工面(3a)的倾斜以及倾斜复位，由此，离子束(2)低角度照射向加工面(3a)，抑制因空穴(61)、异种物质(62)产生的凹凸(63)，其中一状态是试料(3)的加工面(3a)朝向倾斜轴方向(Y轴向)的面状态，其二是从该面状态，加工面(3a)的试料台侧部分相比加工面(3a)的掩膜侧部分更向倾斜轴方向(Y轴向)突出的倾斜面状态。由此，在剖面试料制作时，可以抑制因空穴、异种物质产生的凹凸，可以制作适于观察/分析的试料剖面。
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公开(公告)号：CN104541355A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201380041387.9
申请日：2013-07-01
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/04 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/045 , H01J2237/164 , H01J2237/1825 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605
摘要： 以往的带电粒子线装置均为专用于大气压下或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察而被制造的装置，不存在能够使用通常的高真空型带电粒子显微镜而简便地进行大气压或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察的装置。并且，在以往的方法中，无法相对于载置于上述的氛围下的试样的相同的位置同时地进行基于带电粒子线与光的观察。因此，在本发明中，具备：将一次带电粒子线照射至试样的带电粒子光学镜筒、对带电粒子光学镜筒的内部进行抽真空的真空泵、配置为对载置有试样的空间与带电粒子光学镜筒进行隔离并供一次带电粒子线透射或者通过的能够装卸的隔膜、以及相对于隔膜以及试样配置于带电粒子光学镜筒的相反的一侧并在带电粒子光学镜筒的光轴的延长线上具有光轴的至少一部分的光学显微镜。
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公开(公告)号：CN103907004B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201280051975.6
申请日：2012-10-16
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/261 , G01B15/02 , G01N23/00 , H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , Y10T428/24331 , Y10T428/261
摘要： 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。
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公开(公告)号：CN105264632A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480032691.1
申请日：2014-04-28
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/20 , G01K1/14 , G01N1/32 , H01J37/30 , H01J37/3002 , H01J37/3023 , H01J37/3053 , H01J2237/002 , H01J2237/026 , H01J2237/08 , H01J2237/2001 , H01J2237/2007 , H01J2237/20271 , H01J2237/20285 , H01J2237/317
摘要： 本发明的目的在于提供离子碾磨装置，能够在将离子束照射至试样并进行加工的离子碾磨装置中，与照射离子束时的试样的变形等无关地，高精度地进行试样的温度控制，例如提出有如下离子碾磨装置的方案，具有支撑将上述试样的一部分暴露于上述离子束并将该试样相对于离子束遮蔽的遮蔽件的遮蔽件支撑部件、和控制该遮蔽件支撑部件与上述试样台的至少一方的温度的温度控制机构，具备在上述离子束的照射中使上述试样台的与试样的接触面追随上述试样的变形而移动的移动机构、和配置在上述遮蔽件与试样之间并在上述离子束的照射中追随上述试样的变形而变形的试样保持部件中的至少一个。
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公开(公告)号：CN106158567A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610517840.4
申请日：2013-03-15
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
摘要： 本发明提供一种荷电粒子束装置、试样观察系统。该荷电粒子束装置具备控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图。
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公开(公告)号：CN104094096B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380007954.9
申请日：2013-02-20
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： G01N1/30 , G01N1/28 , G01N1/2806 , G01N1/31 , G01N1/34 , H01J37/20 , H01J2237/2608 , H01J2237/28
摘要： 减少水生生物内外的渗透压差，防止从生物试样内部的脱水，由此，不会破环浸渍于离子液体水溶液中的水生生物的自然的形态，且保持外骨骼及关节部的柔软性。首先向浓度低的离子液体投入水生生物，使离子液体的浓度连续升高，由此在保持水生生物的生物体时的形状的状态下，将水生生物内的水分置换成浓度高的离子液体水溶液。通过利用自然干燥产生的缓慢的离子液体水溶液的浓度上升，由此减少水生生物内外的渗透压差并使水生生物内部的离子液体浓度连续升高。
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公开(公告)号：CN104798173A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060092.6
申请日：2013-11-21
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/224 , H01J37/28 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/2004 , H01J2237/2608 , H01J2237/28
摘要： 带电粒子线装置具备产生一次带电粒子线的带电粒子光学镜筒(2)、内部通过真空泵(4)真空排气的机箱(7)、构成机箱(7)的一部分并能够维持其内部空间的气密状态的第一隔膜(10)、配置于第一隔膜(10)与试样(6)之间的第二隔膜(50)，使在带电粒子光学镜筒(2)中产生的一次带电粒子线透过或通过第一隔膜(10)以及第二隔膜(50)，并照射到与第二隔膜(50)接触的状态的试样(6)上。
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公开(公告)号：CN104094375A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380007984.X
申请日：2013-02-01
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： C23C14/221 , H01J37/3178 , H01J2237/31732 , H01J2237/31735
摘要： 本发明的目的在于提供在带电粒子线装置的真空室内不使用气相沉积法等而进行布线加工的布线方法及带电粒子线装置。为了达到上述目的，本发明提供如下的布线方法及带电粒子线装置，即，向试样上滴下离子液体或预先在载置试样的试样台上准备离子液体，向布线加工起点与布线加工终点之间的布线轨道上照射带电粒子线而形成由离子液体构成的布线。根据这样的结构，能不使用气相沉积法等而在带电粒子线装置的真空室内进行布线加工。
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公开(公告)号：CN103907004A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201280051975.6
申请日：2012-10-16
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/261 , G01B15/02 , G01N23/00 , H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , Y10T428/24331 , Y10T428/261
摘要： 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。
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公开(公告)号：CN105264632B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201480032691.1
申请日：2014-04-28
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/20 , G01K1/14 , G01N1/32 , H01J37/30 , H01J37/3002 , H01J37/3023 , H01J37/3053 , H01J2237/002 , H01J2237/026 , H01J2237/08 , H01J2237/2001 , H01J2237/2007 , H01J2237/20271 , H01J2237/20285 , H01J2237/317
摘要： 本发明的目的在于提供离子碾磨装置，能够在将离子束照射至试样并进行加工的离子碾磨装置中，与照射离子束时的试样的变形等无关地，高精度地进行试样的温度控制，例如提出有如下离子碾磨装置的方案，具有支撑将上述试样的一部分暴露于上述离子束并将该试样相对于离子束遮蔽的遮蔽件的遮蔽件支撑部件、和控制该遮蔽件支撑部件与上述试样台的至少一方的温度的温度控制机构，具备在上述离子束的照射中使上述试样台的与试样的接触面追随上述试样的变形而移动的移动机构、和配置在上述遮蔽件与试样之间并在上述离子束的照射中追随上述试样的变形而变形的试样保持部件中的至少一个。
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