发明公开
- 专利标题: 一种高可靠性的横向绝缘栅双极器件及其制备方法
- 专利标题(英): High-reliability bipolar device for transverse insulated gate, and preparation method of high-reliability bipolar device
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申请号: CN201410813021.5申请日: 2014-12-24
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公开(公告)号: CN104576722A公开(公告)日: 2015-04-29
- 发明人: 孙伟锋 , 喻慧 , 张龙 , 易扬波 , 苏巍 , 祝靖 , 陆生礼 , 时龙兴
- 申请人: 东南大学 , 无锡华润上华半导体有限公司 , 苏州博创集成电路设计有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市工业园区林泉街399号
- 专利权人: 东南大学,无锡华润上华半导体有限公司,苏州博创集成电路设计有限公司
- 当前专利权人: 东南大学,无锡华润上华半导体有限公司,苏州博创集成电路设计有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市工业园区林泉街399号
- 代理机构: 北京瑞思知识产权代理事务所
- 代理商 袁红红
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739 ; H01L29/06 ; H01L21/331
摘要:
一种高可靠性的横向绝缘栅双极器件及其制备方法,包括:P型衬底、埋氧层,N型漂移区,二氧化硅层,在N型外延层中设有P型体区和N型缓冲层,在P型体区内设有P型发射极和N型发射极,在P型发射极和N型发射极上连接有发射极电极金属连线,在N型缓冲层中设有P型集电极,在P型集电极上连接有集电极金属,在二氧化硅层内设有多晶硅栅和多晶硅场板,在多晶硅栅上连接有栅极金属,在N型漂移区内还设有一排沟槽,在每个沟槽的内壁上设有一层二氧化硅,在二氧化硅内填充多晶硅,所述沟槽与P型体区、P型发射极、N型发射极和多晶硅栅的U字形开口相邻,所述沟槽位于集电极金属的下方且与集电极金属垂直。
IPC分类: