一种高可靠性的横向绝缘栅双极器件及其制备方法
摘要:
一种高可靠性的横向绝缘栅双极器件及其制备方法,包括:P型衬底、埋氧层,N型漂移区,二氧化硅层,在N型外延层中设有P型体区和N型缓冲层,在P型体区内设有P型发射极和N型发射极,在P型发射极和N型发射极上连接有发射极电极金属连线,在N型缓冲层中设有P型集电极,在P型集电极上连接有集电极金属,在二氧化硅层内设有多晶硅栅和多晶硅场板,在多晶硅栅上连接有栅极金属,在N型漂移区内还设有一排沟槽,在每个沟槽的内壁上设有一层二氧化硅,在二氧化硅内填充多晶硅,所述沟槽与P型体区、P型发射极、N型发射极和多晶硅栅的U字形开口相邻,所述沟槽位于集电极金属的下方且与集电极金属垂直。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/70 ...双极器件
H01L29/72 ....晶体管型器件,如连续响应于所施加的控制信号的
H01L29/739 .....受场效应控制的
0/0