基于径向扫描结合环向扫描的摆臂轮廓面形检测方法
摘要:
本发明公开了一种基于径向扫描结合环向扫描的摆臂轮廓面形检测方法,利用基于Forbes多项式拟合的方法对被检元件表面特征进行描述,获得被检元件在非解析表达下的表面梯度分布;建立表面梯度与被检元件特征轮廓的数学模型,提取被检元件特征轮廓线;对提取的特征轮廓线按照径向和环向分别进行测量路径的规划;用摆臂轮廓仪的探针对被检元件按规划的测量路径分别进行径向扫描和环向扫描,获得被检元件的一维特征轮廓数据;利用面形偏差拟合重构算法将被检元件的一维特征轮廓数据进行插值、拟合、重构,最终得到被检元件的二维全面形。该方法具有高效率、高精度、应用广等优点。
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