角速度传感器、电子设备以及移动体
摘要:
本发明提供一种即使在受到了绕检测轴的旋转振动的情况下也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器,此外,本发明还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动。本发明的角速度传感器具备:固定部(221、222);基部(21);将基部(21)相对于固定部(221、222)进行支承的梁部(223、224、225、226);连接于基部(21)的驱动用振动臂(25~26);连接于基部(21)的检测用振动臂(23、24),在将检测频带的宽度设为f1[Hz],将随着梁部(223、224、225、226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz],将偏移频率设为f3[Hz]时,满足f1<f2<f3的关系。
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