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公开(公告)号：CN106482719B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN201610719483.X
申请日：2016-08-24
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： G01C19/56
摘要： 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。
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公开(公告)号：CN106059526B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201610188248.4
申请日：2016-03-29
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 中川啓史
摘要： 本发明提供一种振动元件、振子、电子设备及移动体，所述振动元件减少面外振动的结合从而具有优良的振动特性。振动元件具有驱动臂(22)。另外，驱动臂(22)具有上表面(221)及下表面(222)、向上表面(221)开放的槽(228)和向下表面(222)开放的槽(229)。另外，上表面(221)以相对于下表面(222)而向+X轴侧偏移L1的方式被配置，槽(228)以相对于槽(229)而向+X轴侧偏移L2的方式被配置。而且，L1、L2满足L2/L1＞0的关系。
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公开(公告)号：CN104949666B
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201510130881.3
申请日：2015-03-24
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： G01C19/5642 , G01C19/5649
CPC分类号： G01L1/162 , G01C19/5607 , G01C19/5614 , G01C19/5621 , G01L1/106 , H01L41/094
摘要： 本发明提供物理量检测装置、电子设备及移动体。物理量检测装置包括振动元件和电荷放大器。振动元件包括第一检测电极、第二检测电极、第三检测电极以及第四检测电极。第一检测电极与第四检测电极的电极性相同，第二检测电极与第三检测电极的电极性相同，第一检测电极与第二检测电极的电极性相反。第一检测电极和第四检测电极被连接于电荷放大器，第二检测电极和第三检测电极被连接于电荷放大器。
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公开(公告)号：CN104596495B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201410601637.6
申请日：2014-10-30
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： G01C19/5719
摘要： 本发明提供一种即使在受到了绕检测轴的旋转振动的情况下也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器，此外，本发明还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动。本发明的角速度传感器具备：固定部(221、222)；基部(21)；将基部(21)相对于固定部(221、222)进行支承的梁部(223、224、225、226)；连接于基部(21)的驱动用振动臂(25～26)；连接于基部(21)的检测用振动臂(23、24)，在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着梁部(223、224、225、226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]时，满足f1＜f2＜f3的关系。
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公开(公告)号：CN104949666A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510130881.3
申请日：2015-03-24
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： G01C19/5642 , G01C19/5649
CPC分类号： G01L1/162 , G01C19/5607 , G01C19/5614 , G01C19/5621 , G01L1/106 , H01L41/094 , G01C19/5642 , G01C19/5649
摘要： 本发明提供物理量检测装置、电子设备及移动体。物理量检测装置包括振动元件和电荷放大器。振动元件包括第一检测电极、第二检测电极、第三检测电极以及第四检测电极。第一检测电极与第四检测电极的电极性相同，第二检测电极与第三检测电极的电极性相同，第一检测电极与第二检测电极的电极性相反。第一检测电极和第四检测电极被连接于电荷放大器，第二检测电极和第三检测电极被连接于电荷放大器。
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公开(公告)号：CN104579225A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410584193.X
申请日：2014-10-27
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H03H9/21 , H03B5/32 , H03H3/0076 , H03H9/0542 , H03L1/028
摘要： 本发明提供一种振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，振动元件、振子能够对由温度变化引起的频率特性等特性的劣化进行抑制，振荡器、电子设备以及移动体具有较高的可靠性。本发明的振动元件的特征在于，具有驱动模式和在与该驱动模式下的振动方向正交的方向上进行振动的第一检测模式以及第二检测模式，在将横轴设为气氛温度并将纵轴设为频率的变化时的、各个模式下的表示由温度的变化引起的频率的变化的频率温度特性曲线中，将驱动模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Ta[℃]，将第一检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tb[℃]，并将第二检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tc[℃]时，Ta低于Tb及Tc，或者，Ta高于Tb及Tc。
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公开(公告)号：CN106017448B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN201610158342.5
申请日：2016-03-18
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 中川啓史
IPC分类号： G01C19/56
摘要： 本发明提供一种能够减少无用振动且减少检测精度的下降的角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体。陀螺仪元件(1)具有：基部(21)；一对驱动臂(23、24)，其与基部(21)连接；检测部(22)，其对在以驱动振动模式而使驱动臂(23、24)弯曲振动的状态下所施加的角速度进行检测，驱动臂(23、24)在基部(21)的面内方向上以同相进行振动，且在基部(21)的厚度方向上以反相进行振动。
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公开(公告)号：CN106059526A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610188248.4
申请日：2016-03-29
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 中川啓史
摘要： 本发明提供一种振动元件、振子、电子设备及移动体，所述振动元件减少面外振动的结合从而具有优良的振动特性。振动元件具有驱动臂(22)。另外，驱动臂(22)具有上表面(221)及下表面(222)、向上表面(221)开放的槽(228)和向下表面(222)开放的槽(229)。另外，上表面(221)以相对于下表面(222)而向+X轴侧偏移L1的方式被配置，槽(228)以相对于槽(229)而向+X轴侧偏移L2的方式被配置。而且，L1、L2满足L2/L1＞0的关系。
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公开(公告)号：CN106017448A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610158342.5
申请日：2016-03-18
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 中川啓史
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5607 , G01C19/56
摘要： 本发明提供一种能够减少无用振动且减少检测精度的下降的角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体。陀螺仪元件(1)具有：基部(21)；一对驱动臂(23、24)，其与基部(21)连接；检测部(22)，其对在以驱动振动模式而使驱动臂(23、24)弯曲振动的状态下所施加的角速度进行检测，驱动臂(23、24)在基部(21)的面内方向上以同相进行振动，且在基部(21)的厚度方向上以反相进行振动。
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公开(公告)号：CN104075701A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410119976.0
申请日：2014-03-27
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： G01C19/5607 , G01C19/5628
摘要： 本发明提供一种振动片及其制造方法，所述振动片具有较高的检测灵敏度。振动片具有第一振动模式和第二振动模式，其中，所述第一振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相反的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式，所述第二振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相同的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式。第二振动模式时的等效串联电阻R2相对于第一振动模式时的等效串联电阻R1的比率r＝R2／R1被设定在0.15～6.0之间。
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