SiC单晶体的制造方法
摘要:
在溶液法中,提供能够比以往大幅提高生长速度的SiC单晶体的制造方法。一种SiC单晶体的制造方法,使晶种基板接触被放入到坩埚内且具有温度从内部朝向液面降低的温度梯度的Si-C溶液,而晶体生长SiC单晶体,其中,所述坩埚的深度/内径小于1.71,从Si-C溶液的液面至液面下10mm的范围的温度梯度大于42℃/cm。
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