发明公开
- 专利标题: SiC单晶体的制造方法
- 专利标题(英): Method for producing SiC single crystal
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申请号: CN201380045663.9申请日: 2013-08-12
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公开(公告)号: CN104603336A公开(公告)日: 2015-05-06
- 发明人: 加渡干尚 , 楠一彦 , 龟井一人
- 申请人: 丰田自动车株式会社 , 新日铁住金株式会社
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: 丰田自动车株式会社,新日铁住金株式会社
- 当前专利权人: 丰田自动车株式会社
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 金光华
- 优先权: 2012-190547 2012.08.30 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/071812 2013.08.12
- 国际公布: WO2014/034424 JA 2014.03.06
- 进入国家日期: 2015-02-27
- 主分类号: C30B29/36
- IPC分类号: C30B29/36 ; C30B19/10
摘要:
在溶液法中,提供能够比以往大幅提高生长速度的SiC单晶体的制造方法。一种SiC单晶体的制造方法,使晶种基板接触被放入到坩埚内且具有温度从内部朝向液面降低的温度梯度的Si-C溶液,而晶体生长SiC单晶体,其中,所述坩埚的深度/内径小于1.71,从Si-C溶液的液面至液面下10mm的范围的温度梯度大于42℃/cm。
公开/授权文献
- CN104603336B SiC单晶体的制造方法 公开/授权日:2017-09-29
IPC分类: