发明公开
- 专利标题: 薄膜晶体管及显示装置
- 专利标题(英): Thin film transistor and display device
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申请号: CN201380045020.4申请日: 2013-08-30
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公开(公告)号: CN104603919A公开(公告)日: 2015-05-06
- 发明人: 三木绫 , 森田晋也 , 后藤裕史 , 田尾博昭 , 钉宫敏洋 , 安秉斗 , 金建熙 , 朴辰玄 , 金连洪
- 申请人: 株式会社神户制钢所 , 三星显示有限公司
- 申请人地址: 日本兵库县
- 专利权人: 株式会社神户制钢所,三星显示有限公司
- 当前专利权人: 株式会社神户制钢所,三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 日本兵库县
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 张玉玲
- 优先权: 2012-192666 2012.08.31 JP; 2013-094087 2013.04.26 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/073373 2013.08.30
- 国际公布: WO2014/034874 JA 2014.03.06
- 进入国家日期: 2015-02-27
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336 ; H01L21/316 ; H01L29/786
摘要:
本发明提供一种薄膜晶体管,其在具备氧化物半导体层薄膜的薄膜晶体管中,对于光或偏压应力等,阈值电压的变化量小且应力耐受性优异。本发明的薄膜晶体管是具备栅电极、用于沟道层的单层的氧化物半导体层、用于保护氧化物半导体层的表面的蚀刻阻挡层、源-漏电极和配置于栅电极与沟道层之间的栅极绝缘膜的薄膜晶体管,其中,构成氧化物半导体层的金属元素由In、Zn及Sn构成,并且与所述氧化物半导体层直接接触的栅极绝缘膜中的氢浓度被控制在4原子%以下。
公开/授权文献
- CN104603919B 薄膜晶体管及显示装置 公开/授权日:2017-10-13
IPC分类: