Invention Publication
CN104627952A 一种柔性超疏水超疏油结构制备方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种柔性超疏水超疏油结构制备方法
- Patent Title (English): Preparation method of flexible super-hydrophobic and super-oleophobic structure
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Application No.: CN201510015009.4Application Date: 2015-01-13
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Publication No.: CN104627952APublication Date: 2015-05-20
- Inventor: 廖广兰 , 谭先华 , 史铁林 , 独莉 , 刘智勇 , 吴悠妮
- Applicant: 华中科技大学
- Applicant Address: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- Assignee: 华中科技大学
- Current Assignee: 华中科技大学
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- Agency: 华中科技大学专利中心
- Agent 梁鹏
- Main IPC: B81C1/00
- IPC: B81C1/00

Abstract:
本发明公开了一种柔性超疏水超疏油结构制备方法,该制备方法包括如下步骤:(1)制作柔性超疏水超疏油结构底层:在基底上旋涂一层负性光刻胶,不用掩膜进行曝光;(2)在步骤(1)曝光后的负性光刻胶上旋涂一层负性光刻胶,利用阵列图形掩膜进行曝光;(3)结构层光刻胶第二次曝光:采用跟步骤(2)对应的掩模进行套刻曝光;(4)显影:将上述步骤中曝光后的结构进行显影;(5)镀保护层膜:在步骤(4)中得到的结构表面形成一层保护膜;(6)剥离:将经过步骤(5)处理后得到的结构从基底上剥离,得到所述柔性超疏水超疏油结构。按照本发明的制备方法,工艺简单,成本低廉,对该柔性超疏水超疏油结构的普及应用具有极大的促进作用。
Public/Granted literature
- CN104627952B 一种柔性超疏水超疏油结构制备方法 Public/Granted day:2016-06-22
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