一种高效率单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机
摘要:
本发明公开了一种高效率单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于真空镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、设于真空室内的冷辊、纠偏装置、两个或两个以上的回转换靶装置、以及与每个回转换靶装置位置相对应的上下两面开口的阴极小室,开卷机构与换向辊之间、收卷机构与换向辊之间各设有一组纠偏装置;阴极小室分布于冷辊包覆有基带的圆周面上;极靶座板旋转到对应的阴极小室下方,并向外伸出将靶芯嵌入阴极小室内,开卷机构和收卷机构带动基带往复运动。本发明在不打开镀膜真空室的情况下即可及时更换阴极靶,并利用基材往复运动实现多层膜层的镀制,大大提高了镀膜机镀多层功能膜的效率;同时,设备结构紧凑,占地空间小。
0/0