- 专利标题: 一种高效率单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机
- 专利标题(英): High-efficiency single-side reciprocating continuous-coating magnetron sputtering winding coating machine
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申请号: CN201510067746.9申请日: 2015-02-09
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公开(公告)号: CN104674175A公开(公告)日: 2015-06-03
- 发明人: 朱锡芳 , 许清泉 , 杨辉 , 徐安成 , 陈功
- 申请人: 常州工学院
- 申请人地址: 江苏省常州市新北区巫山路1号
- 专利权人: 常州工学院
- 当前专利权人: 肇庆市双石金属实业有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市新北区巫山路1号
- 代理机构: 南京知识律师事务所
- 代理商 高桂珍
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/56
摘要:
本发明公开了一种高效率单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于真空镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、设于真空室内的冷辊、纠偏装置、两个或两个以上的回转换靶装置、以及与每个回转换靶装置位置相对应的上下两面开口的阴极小室,开卷机构与换向辊之间、收卷机构与换向辊之间各设有一组纠偏装置;阴极小室分布于冷辊包覆有基带的圆周面上;极靶座板旋转到对应的阴极小室下方,并向外伸出将靶芯嵌入阴极小室内,开卷机构和收卷机构带动基带往复运动。本发明在不打开镀膜真空室的情况下即可及时更换阴极靶,并利用基材往复运动实现多层膜层的镀制,大大提高了镀膜机镀多层功能膜的效率;同时,设备结构紧凑,占地空间小。
公开/授权文献
- CN104674175B 一种高效率单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 公开/授权日:2017-03-22