碳化硅的晶体生长方法
摘要:
本发明的利用溶液法的碳化硅的晶体生长方法中,作为Si-C溶液的收容部,使用以SiC为主要成分的坩埚。使Si-C溶液中含有金属元素M(M为选自由La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Lu组成的第一组、由Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu组成的第二组、由Al、Ga、Ge、Sn、Pb、Zn组成的第三组的至少一组中的至少一种金属元素),加热坩埚,使源于作为坩埚的主要成分的SiC的Si和C从与Si-C溶液接触的坩埚表面的高温区域向Si-C溶液内溶出。由此,抑制在与Si-C溶液接触的坩埚表面的SiC多晶的析出。
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