一种用于航天器和军用计算机上的光互连基板及其制造方法
摘要:
一种用于航天器和军用计算机上的光互连基板及其制造方法,包括发射组件、接收组件以及一侧开设有空腔的LTCC基板,所述LTCC基板的空腔内设置有单面抛光的硅片,硅片的抛光面上设置有复合波导;复合波导的一端设置第一反射镜,另一端设置第二反射镜;LTCC基板的另一侧组装有发射组件中的VCSEL器件和接收组件中的PD器件,VCSEL器件和第一反射镜之间设置第一微透镜阵列,PD器件和第二反射镜之间设置有第二微透镜阵列;本发明的LTCC光互连基板具有体积小、重量轻、集成密度更高的特点,非常适合制造用于航天器和军用计算机中,且更容易实现与光电组件的组装工艺。
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