全固态对称三维螺旋微型超级电容器及其制备方法
Abstract:
本发明涉及一种用于芯片上驱动的全固态对称三维螺旋微型超级电容器及其制备方法,包括有带有氧化层的硅片作为基底,活性材料和固体电解质,其特征在于基底上具有对称结构的螺旋集流体,螺旋集流体上布置有由光刻胶制成的三维阵列柱。本发明的有益效果是:本发明中提出了另外一种提高超级电容器能量密度的思路,即通过构筑三维导电柱子阵列实现了快速充放电条件下的能量密度的提高。同时,由于螺旋设计的独特性,方便容易地实现了电极的集成化和串并联耦合。
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