发明授权
- 专利标题: 一种在线实时检测外延片温度的装置
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申请号: CN201310651770.8申请日: 2013-12-05
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公开(公告)号: CN104701200B公开(公告)日: 2018-01-16
- 发明人: 马铁中 , 严冬 , 王林梓 , 刘健鹏
- 申请人: 北京智朗芯光科技有限公司
- 申请人地址: 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室
- 专利权人: 北京智朗芯光科技有限公司
- 当前专利权人: 北京智朗芯光科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室
- 代理机构: 北京华沛德权律师事务所
- 代理商 刘杰
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66 ; G01K11/00
摘要:
本发明公开了一种在线实时检测外延片温度的装置,属于半导体检测技术领域。该装置包括黑体辐射值运算模块和温度运算模块,该装置通过引入镀膜窗口的反射率衰减因子和热辐射衰减因子,可以准确测量得到外延片的温度T。该装置能够消除反应腔窗口镀膜对在线实时温度检测值造成的影响、提高在线实时温度检测值准确度。
公开/授权文献
- CN104701200A 一种在线实时检测外延片温度的装置 公开/授权日:2015-06-10