发明公开
CN104752154A 电容器的制作方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 电容器的制作方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing capacitor
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申请号: CN201310739280.3申请日: 2013-12-27
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公开(公告)号: CN104752154A公开(公告)日: 2015-07-01
- 发明人: 方三军 , 朱瑜杰 , 张冠军
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02 ; H01L29/40
摘要:
本发明提出了一种电容器的制作方法,使形成在下电极表面的介质层暴露出一部分下电极,接着在介质层以及暴露出的下电极表面形成上电极,使所述上电极有一部分与下电极相连接,从而保证在形成上电极的时所产生的电荷也能够传导至所述下电极上,使上电极和下电极之间不具有电势差,从而避免了电弧放电缺陷的形成,接着去除上电极和下电极相连的部分即可形成电容器,从而使形成的电容器良率较高,符合要求。
IPC分类: