发明公开
CN104781453A 基板镀敷夹具
失效 - 权利终止
- 专利标题: 基板镀敷夹具
- 专利标题(英): Substrate plating jig
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申请号: CN201280076998.2申请日: 2012-11-14
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公开(公告)号: CN104781453A公开(公告)日: 2015-07-15
- 发明人: 吉冈润一郎 , 村山隆史
- 申请人: 株式会社JCU
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社JCU
- 当前专利权人: 株式会社JCU
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京弘权知识产权代理事务所
- 代理商 郭放; 许伟群
- 国际申请: PCT/JP2012/079519 2012.11.14
- 国际公布: WO2014/076781 JA 2014.05.22
- 进入国家日期: 2015-05-11
- 主分类号: C25D17/06
- IPC分类号: C25D17/06
摘要:
本发明的目的在于提供一种仅通过一次镀敷处理就可以在半导体晶片的双面同时形成金属镀敷膜并且与保持部相比更薄的具有简单的结构的镀敷夹具。该镀敷夹具具备:形成为能够保持被镀敷基板的基座部和盖部、以及被基座部与盖部夹持而将被镀敷基板定位的中心部,其特征在于,该基座部、该盖部以及该中心部都具有在中央具有开口的环状部,在基座部环状部以及盖部环状部安装有在彼此对置的面上配设有通电环的密封垫,被镀敷基板配置在中心部的开口内,利用安装于盖部以及中心部的上述密封垫从正反两面夹持被镀敷基板。
公开/授权文献
- CN104781453B 基板镀敷夹具 公开/授权日:2017-05-10