Invention Publication
- Patent Title: 迂回式红外传感器
- Patent Title (English): Serpentine ir sensor
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Application No.: CN201380056207.4Application Date: 2013-08-29
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Publication No.: CN104781641APublication Date: 2015-07-15
- Inventor: F·普尔科利 , G·亚马 , A·费伊 , G·奥布赖恩
- Applicant: 罗伯特·博世有限公司 , F·普尔科利 , G·亚马 , A·费伊 , G·奥布赖恩
- Applicant Address: 德国斯图加特
- Assignee: 罗伯特·博世有限公司,F·普尔科利,G·亚马,A·费伊,G·奥布赖恩
- Current Assignee: 罗伯特·博世有限公司,F·普尔科利,G·亚马,A·费伊,G·奥布赖恩
- Current Assignee Address: 德国斯图加特
- Agency: 永新专利商标代理有限公司
- Agent 郭毅
- Priority: 61/695,361 2012.08.31 US
- International Application: PCT/US2013/057280 2013.08.29
- International Announcement: WO2014/036250 EN 2014.03.06
- Date entered country: 2015-04-27
- Main IPC: G01J5/04
- IPC: G01J5/04 ; G01J5/02 ; G01J5/06 ; G01J5/20 ; G01J5/08
Abstract:
在一个实施例中，MEMS传感器包括镜和与镜间隔开的吸收体，所述吸收体包括多个间隔开的导电臂，所述多个间隔开的导电臂跨越所述镜正上方的区域地限定蜿蜒路径。
Public/Granted literature
- CN104781641B 迂回式红外传感器 Public/Granted day:2018-03-06
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