发明公开
CN104835767A 湿法刻蚀机及采用该刻蚀机进行刻蚀的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 湿法刻蚀机及采用该刻蚀机进行刻蚀的方法
- 专利标题(英): Wet etching machine and method for carrying out etching by adopting etching machine
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申请号: CN201510260667.X申请日: 2015-05-20
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公开(公告)号: CN104835767A公开(公告)日: 2015-08-12
- 发明人: 李盛荣 , 郑载润 , 王世凯 , 金童燮 , 耿军 , 李登涛 , 李茜茜 , 梁亚东
- 申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市新站区工业园内
- 专利权人: 合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市新站区工业园内
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 许静; 黄灿
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/77
摘要:
本发明提供一种湿法刻蚀机及采用该刻蚀机进行刻蚀的方法。该湿法刻蚀机包括刻蚀腔室,所述刻蚀腔室内设置有至少两个刻蚀层,各个所述刻蚀层由上至下依次层叠设置,且每一所述刻蚀层包括:用于放置及传送待刻蚀基板的第一传送载体以及设置于所述第一传送载体正上方、用于喷涂刻蚀药液的喷淋装置。采用该刻蚀机及其方法,能够解决现有技术的湿法刻蚀机,当生产工艺中需要总刻蚀时间大于基板不停留情况下的传送时间时,需要增加停留时间造成刻蚀的生产节拍降低,或者需要增加串联刻蚀腔室的个数,造成占地面积较大的问题。
公开/授权文献
- CN104835767B 湿法刻蚀机及采用该刻蚀机进行刻蚀的方法 公开/授权日:2019-12-31
IPC分类: