用于激光光学地检测试样表面运动的方法和设备
摘要:
本发明涉及一种用于激光光学地检测试样(1)表面运动的方法,在该方法中,第一基准射线(10)与对准试样(1)的并且由该试样反射的第一测量射线(12)在第一光折变/电光元件(4)内叠加。附加地,基本上与所述第一基准射线(10)相同的第二基准射线(11)和基本上与所述第一测量射线(12)相同的第二测量射线(13)在第二光折变/电光元件(5)内叠加。在此,给两个光折变/电光元件(4,5)施加彼此相反的电压。有光折变/电光元件(4、5)射出的管线转换为电信号,这些电信号在信号分析处理之前彼此相减。另外,列出用于实施所述方法的配置组件。
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