用于激光光学地检测试样表面运动的方法和设备

    公开(公告)号:CN104854433A

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201380065428.8

    申请日:2013-10-30

    发明人: B·J·赖廷格

    IPC分类号: G01H9/00 G01B9/02

    摘要: 本发明涉及一种用于激光光学地检测试样(1)表面运动的方法,在该方法中,第一基准射线(10)与对准试样(1)的并且由该试样反射的第一测量射线(12)在第一光折变/电光元件(4)内叠加。附加地,基本上与所述第一基准射线(10)相同的第二基准射线(11)和基本上与所述第一测量射线(12)相同的第二测量射线(13)在第二光折变/电光元件(5)内叠加。在此,给两个光折变/电光元件(4,5)施加彼此相反的电压。有光折变/电光元件(4、5)射出的管线转换为电信号,这些电信号在信号分析处理之前彼此相减。另外,列出用于实施所述方法的配置组件。

    用于激光光学地检测试样表面运动的方法和设备

    公开(公告)号:CN104854433B

    公开(公告)日:2018-04-27

    申请号:CN201380065428.8

    申请日:2013-10-30

    发明人: B·J·赖廷格

    IPC分类号: G01H9/00 G01B9/02

    摘要: 本发明涉及一种用于激光光学地检测试样(1)表面运动的方法,在该方法中,第一基准射线(10)与对准试样(1)的并且由该试样反射的第一测量射线(12)在第一光折变/电光元件(4)内叠加。附加地,基本上与所述第一基准射线(10)相同的第二基准射线(11)和基本上与所述第一测量射线(12)相同的第二测量射线(13)在第二光折变/电光元件(5)内叠加。在此,给两个光折变/电光元件(4,5)施加彼此相反的电压。有光折变/电光元件(4、5)射出的管线转换为电信号,这些电信号在信号分析处理之前彼此相减。另外,列出用于实施所述方法的配置组件。