灭弧方法和具有功率转换器的功率供送系统
摘要:
一种用于在等离子体系统(1)的等离子体腔室(6)中的灭弧的灭弧方法,包括以下方法步骤:a.在等离子体操作期间产生功率,以便在所述等离子体腔室中生成等离子体和以便使用所生成的等离子体来进行等离子体处理过程,其中,数字‑模拟转换器(DAC)(41)生成要提供到放大器路径(31、32)并在那里放大的模拟信号;b.借助于电弧检测针对电弧的产生来监测等离子体系统;c.如果在步骤b中检测到电弧:通过电弧检测装置以使DAC的模拟输出信号被改变的方式来控制DAC。
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