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公开(公告)号：CN104871430B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201380066355.4
申请日：2013-12-18
申请人： 通快许廷格两合公司
IPC分类号： H03F3/217 , H01J37/32 , H02M7/5387
CPC分类号： H02M1/08 , H01J37/24 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H02M7/53873 , H02M2001/0003 , H03F3/2175 , H03M1/66 , H05H2001/4682
摘要： 一种具有功率转换器(3，30)的功率供送系统(2，20)，所述功率转换器产生高频信号，且能够连接到负载(6)以给等离子体或气体激光器处理供送功率，其中，所述功率转换器具有至少第一放大器路径(31)，通过DAC(41)由数字信号产生的音频信号被供送到至少一个放大器路径(31‑36)，其特征在于，用于产生供送到DAC的数字信号的逻辑电路单元(42)设置在DAC的上游，所述逻辑电路单元具有：‑信号数据存储器(61)，用于产生模拟信号形式的信号数据值存储在所述信号数据存储器中，‑幅度数据存储器(62)，用于影响模拟信号的幅度的幅度数据值存储在所述幅度数据存储器中，‑倍增器(63)，其用于使信号数据值乘以幅度数据值。在一种用于产生能够供送到负载的高频功率的方法中，模拟信号由DAC产生且在放大器路径(31‑36)中放大，模拟信号的幅度被调制。
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公开(公告)号：CN105830195A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201480069010.9
申请日：2014-12-16
申请人： 通快许廷格两合公司
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： G06F1/263 , G06F1/324 , G06F1/3296 , H01J37/32174 , H01J37/32944 , H05H2001/4682
摘要： 本发明涉及一种电源系统(20)。为了能够处理负载跳变，将对高频信号的幅度控制与对放大器(38，39)的电源电压的电压控制组合，放大器(38，39)将高频信号放大。
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公开(公告)号：CN104871430A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201380066355.4
申请日：2013-12-18
申请人： 通快许廷格两合公司
IPC分类号： H03F3/217 , H01J37/32 , H02M7/5387
CPC分类号： H02M1/08 , H01J37/24 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H02M7/53873 , H02M2001/0003 , H03F3/2175 , H03M1/66 , H05H2001/4682
摘要： 一种具有功率转换器(3，30)的功率供送系统(2，20)，所述功率转换器产生高频信号，且能够连接到负载(6)以给等离子体或气体激光器处理供送功率，其中，所述功率转换器具有至少第一放大器路径(31)，通过DAC(41)由数字信号产生的音频信号被供送到至少一个放大器路径(31-36)，其特征在于，用于产生供送到DAC的数字信号的逻辑电路单元(42)设置在DAC的上游，所述逻辑电路单元具有：信号数据存储器(61)，用于产生模拟信号形式的信号数据值存储在所述信号数据存储器中，幅度数据存储器(62)，用于影响模拟信号的幅度的幅度数据值存储在所述幅度数据存储器中，倍增器(63)，其用于使信号数据值乘以幅度数据值。在一种用于产生能够供送到负载的高频功率的方法中，模拟信号由DAC产生且在放大器路径(31-36)中放大，模拟信号的幅度被调制。
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公开(公告)号：CN104871285B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201380066339.5
申请日：2013-12-18
申请人： 通快许廷格两合公司
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32944 , H01J37/32064 , H01J37/3299
摘要： 一种用于在等离子体系统(1)的等离子体腔室(6)中的灭弧的灭弧方法，包括以下方法步骤：a.在等离子体操作期间产生功率，以便在所述等离子体腔室中生成等离子体和以便使用所生成的等离子体来进行等离子体处理过程，其中，数字‑模拟转换器(DAC)(41)生成要提供到放大器路径(31、32)并在那里放大的模拟信号；b.借助于电弧检测针对电弧的产生来监测等离子体系统；c.如果在步骤b中检测到电弧：通过电弧检测装置以使DAC的模拟输出信号被改变的方式来控制DAC。
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公开(公告)号：CN104871285A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201380066339.5
申请日：2013-12-18
申请人： 通快许廷格两合公司
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32944 , H01J37/32064 , H01J37/3299
摘要： 一种用于在等离子体系统(1)的等离子体腔室(6)中的灭弧的灭弧方法，包括以下方法步骤：a.在等离子体操作期间产生功率，以便在所述等离子体腔室中生成等离子体和以便使用所生成的等离子体来进行等离子体处理过程，其中，数字-模拟转换器(DAC)(41)生成要提供到放大器路径(31、32)并在那里放大的模拟信号；b.借助于电弧检测针对电弧的产生来监测等离子体系统；c.如果在步骤b中检测到电弧：通过电弧检测装置以使DAC的模拟输出信号被改变的方式来控制DAC。
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