- 专利标题: 带电粒子束系统以及使用带电粒子束诱发沉积来填充孔的方法
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申请号: CN201380068797.2申请日: 2013-12-30
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公开(公告)号: CN104885196B公开(公告)日: 2018-02-06
- 发明人: S.H.李 , J.布莱克伍德 , S.斯通
- 申请人: FEI , 公司
- 申请人地址: 美国俄勒冈州
- 专利权人: FEI,公司
- 当前专利权人: FEI,公司
- 当前专利权人地址: 美国俄勒冈州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 申屠伟进; 张懿
- 优先权: 61/747509 2012.12.31 US
- 国际申请: PCT/US2013/078354 2013.12.30
- 国际公布: WO2014/106202 EN 2014.07.03
- 进入国家日期: 2015-06-29
- 主分类号: H01L21/205
- IPC分类号: H01L21/205
摘要:
提供用于填充高深宽比孔而没有空隙或用于产生高深宽比结构而没有空隙的方法连同对应的设备。将直径小于孔的直径的束引导到孔中以诱发在孔底部的中心区中开始的沉积。在通过束诱发的沉积在孔中形成细长结构之后,束然后能够以与孔直径至少一样大的图案来扫描以填充孔的剩余部分。高深宽比孔然后能够使用离子束来横截用于观察而没有创建伪影。当使用电子束诱发沉积时,电子优选地具有高的能量以到达孔的底部,并且束具有低的电流以减少由束拖尾引起的伪沉积。
公开/授权文献
- CN104885196A 将材料沉积到高深宽比结构 公开/授权日:2015-09-02