本发明提供了一种化学机械抛光垫，其具有抛光层以及结合至所述抛光层中的窗口；其中所述抛光层包括以下成分的反应产物，所述成分包括抛光层预聚物以及抛光层固化剂体系，所述抛光层固化剂体系包括：抛光层胺引发的多元醇固化剂、抛光层高分子量多元醇固化剂以及抛光层双官能的固化剂；其中所述窗口包括以下成分的反应产物，所述成分包括窗口预聚物以及窗口固化剂体系；其中所述窗口固化剂体系包括：窗口双官能的固化剂、窗口胺引发的多元醇固化剂以及窗口高分子量多元醇固化剂；以及，其中所述抛光层的密度≥0.6g/cm3、肖氏D硬度为5‑40、断裂伸长率为100‑450％、以及切割速率为25‑150μm/hr。