发明授权
- 专利标题: 一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法
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申请号: CN201510294056.7申请日: 2015-06-01
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公开(公告)号: CN104992968B公开(公告)日: 2018-03-02
- 发明人: 陈万军 , 程武 , 古云飞 , 李震洋 , 张波
- 申请人: 电子科技大学
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 代理机构: 成都点睛专利代理事务所
- 代理商 葛启函
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739 ; H01L21/331 ; H01L29/36
摘要:
本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法。本发明采用的技术方案通过设置在P‑body区中的N型重掺杂层9,使器件成为深埋发射极沟槽型IGBT,相当于引入了达林顿管,如图5所示,在开启过程中,J1所在的支路首先导通,电子注入到N‑漂移区4,促使阳极P区向漂移区注入空穴,空穴经外延P‑body区到达阴极。随着J2电流的增大,Rp两端的压降增大,使得达林顿管开启。在导通状态下,N型CS层5与P型外延区PN结的高空穴密度降低了导通电阻,关断时更容易抽取N‑漂移区4的空穴,从而降低了关断时间和关断损耗。本发明尤其适用于绝缘栅双极型晶体管及其制造。
公开/授权文献
- CN104992968A 一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法 公开/授权日:2015-10-21
IPC分类: