发明授权
- 专利标题: 保持装置和真空处理装置
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申请号: CN201510192376.1申请日: 2015-04-22
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公开(公告)号: CN105000384B公开(公告)日: 2019-01-08
- 发明人: 岳良太 , 前平谦
- 申请人: 株式会社爱发科
- 申请人地址: 日本神奈川县
- 专利权人: 株式会社爱发科
- 当前专利权人: 株式会社爱发科
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 陈国慧; 李婷
- 优先权: 2014-089564 2014.04.23 JP
- 主分类号: B65G49/06
- IPC分类号: B65G49/06 ; H01L21/677 ; H01L21/683 ; H01L21/67
摘要:
本发明提供一种保持装置和真空处理装置。不向真空环境中排出粘附衬垫的排出气体地对保持对象物进行真空处理。在保持装置(11)的真空容器(15)的内部设置粘附衬垫(17),在将保持对象物(5)粘附保持的状态下,向配置在真空容器(15)的边缘上的接触部(18)按压,使真空容器(15)的内部空间(25)从外部空间(26)分离。预先将真空容器(15)的内部空间(25)从设置在真空容器(15)上的排气孔(14)真空排气,当进行真空处理时,使排气孔(14)成为气体不穿过的状态,使得来自粘附衬垫(17)的排出气体不排出到对保持对象物(5)进行真空处理的环境内。
公开/授权文献
- CN105000384A 保持装置和真空处理装置 公开/授权日:2015-10-28