一种Cu-Ti非晶合金薄膜及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种Cu-Ti非晶合金薄膜及其制备方法,其特征在于:非晶合金薄膜的结构式为CuxTi100-x(54≤x≤66),其中x为Cu元素的原子百分数;与通常的制备工艺不同的是,该非晶合金薄膜通过电子束+电阻蒸发复合镀膜的技术,在制备过程中,金属Ti和金属Cu分别采用电子束和电阻蒸发源蒸镀,衬底基板不需要加冷却装置,简化了制备工艺,降低了生产成本。本发明制备的非晶薄膜,非晶结构明显,可以通过调节蒸镀电流和蒸镀时间,控制非晶薄膜的成分和尺寸。
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