激光加工装置和激光加工方法
Abstract:
激光加工装置(1)是通过对加工对象物(S)照射激光(L)而在加工对象物(S)形成改质区域(R)的装置。激光加工装置(1)具备:激光光源(2),其出射激光(L);载置台(8),其支撑加工对象物(S);以及光学系统(11),其使从激光光源(2)出射的激光(L)中包围包含该激光(L)的光轴的中央部的环状部,聚光于被载置台(8)支撑的加工对象物(S)的规定部。光学系统(11)根据加工对象物(S)中规定部的位置,调整激光(L)的环状部的内缘和外缘中的至少一者的形状。
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