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公开(公告)号：CN105008085A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201380062649.X
申请日：2013-11-29
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/00 , B23K26/064 , B23K26/38 , B23K26/40
CPC分类号： H01L21/268 , B23K26/0006 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/38 , B23K26/53 , B23K26/55 , B23K2103/50 , H01L21/67115
摘要： 激光加工装置(1)是通过对加工对象物(S)照射激光(L)而在加工对象物(S)形成改质区域(R)的装置。激光加工装置(1)具备：激光光源(2)，其出射激光(L)；载置台(8)，其支撑加工对象物(S)；以及光学系统(11)，其使从激光光源(2)出射的激光(L)中包围包含该激光(L)的光轴的中央部的环状部，聚光于被载置台(8)支撑的加工对象物(S)的规定部。光学系统(11)根据加工对象物(S)中规定部的位置，调整激光(L)的环状部的内缘和外缘中的至少一者的形状。
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公开(公告)号：CN105102178B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201480018596.6
申请日：2014-03-13
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： B23K26/03 , B23K26/064 , B23K26/53 , B23K26/08
CPC分类号： B23K26/0624 , B23K26/0006 , B23K26/03 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0853 , B23K26/53 , B23K2103/52 , B23K2103/54 , B23K2103/56
摘要： 本发明是经由将激光(L)聚光于加工对象物(1)，在加工对象物(1)中形成改质区域(7)，具备：射出激光(L)的激光光源、将由激光光源射出的激光(L)聚光于加工对象物(1)的聚光光学系统(4)、以及对经由聚光光学系统聚光于加工对象物(1)的激光(L)赋予像差的像差赋予部(203)。在激光(L)的光轴方向上由将激光(L)聚光于加工对象物(1)所引起的产生于该聚光位置的像差的聚光产生像差的范围为基准像差范围的情况下，像差赋予部(203)，是在光轴方向具有比基准像差范围更长的长范围作为像差的范围，且以光轴方向中的激光(L)的强度分布在长范围具有连续的强弱的方式对激光赋予第1像差，从而提高加工品质。
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公开(公告)号：CN105324207B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201480018906.4
申请日：2014-03-13
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： B23K26/53 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/40 , H01L21/301
CPC分类号： B23K26/0624 , B23K26/0006 , B23K26/03 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0853 , B23K26/53 , B23K2103/52 , B23K2103/54 , B23K2103/56
摘要： 激光加工装置是通过将超短脉冲光的激光聚光在加工对象物(1)从而在加工对象物(1)形成改质区域(7)的激光加工装置，具备将激光(L)射出的激光光源(202)、将由激光光源(202)射出的激光(L)聚光在加工对象物(1)的聚光光学系统(4)、及对由聚光光学系统(4)聚光在加工对象物(1)的激光(L)赋予像差的像差赋予部(203)，在激光(L)的光轴方向上，在将由于将激光(L)聚光在加工对象物(1)而在该聚光位置产生的像差、即聚光产生像差的范围作为基准像差范围的情况下，像差赋予部(203)以将在光轴方向上比基准像差范围更长的长条范围作为像差的范围来具有，并且光轴方向上的激光的强度分布具有在长条范围连续的强弱的方式对激光赋予第1像差，由此提高加工品质。
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公开(公告)号：CN105102179A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480018976.X
申请日：2014-03-13
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： B23K26/53 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/40 , H01L21/301
CPC分类号： B23K26/0057 , B23K26/0648 , B23K26/0736 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K2103/172 , B23K2103/50 , B23K2103/54 , C03B33/0222 , C03B33/07 , H01L21/78 , Y02P40/57
摘要： 激光加工装置通过使激光相对于包含硅的硅部经由树脂部而层叠于包含玻璃的玻璃部而成的加工对象物聚光从而沿着切断预定线在加工对象物的内部形成改质区域。激光加工装置具备：激光光源，其射出激光；空间光调制器，调制由激光光源射出的激光；及聚光光学系统，将通过空间光调制器调制后的激光聚光于加工对象物。空间光调制器在将改质区域形成于玻璃部的情况下，通过将轴棱锥透镜图案作为调制图案来显示，从而以在沿着激光照射方向接近排列的多个位置形成聚光点的方式使激光聚光于玻璃部。
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公开(公告)号：CN114746205A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202080083527.9
申请日：2020-12-02
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： B23K26/064 , B23K26/53 , H01L21/301
摘要： 一种激光加工装置，具备：输出激光的光源；显示用于调制自上述光源输出的上述激光的调制图案的空间光调制器；将通过上述空间光调制器调制后的上述激光聚光于对象物的聚光透镜；及以对应于相对于上述对象物的上述激光的聚光点的行进方向而调整上述调制图案的方式控制上述空间光调制器的控制部。
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公开(公告)号：CN105189025A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480018920.4
申请日：2014-03-13
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： B23K26/53 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/40 , B28D5/00 , C03B33/09 , G02B3/08 , H01L21/301
CPC分类号： B23K26/53 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0736 , B23K26/40 , B23K2103/50 , B28D5/00 , C03B33/0222 , C03B33/07 , G02B3/08 , G02B5/001 , Y02P40/57
摘要： 激光加工装置通过将激光聚光于加工对象物而沿着切断预定线在加工对象物的内部形成改质区域。激光加工装置具备将激光射出的激光光源、调制由激光光源射出的激光的空间光调制器、及将通过空间光调制器调制后的激光聚光在加工对象物的聚光光学系统。空间光调制器通过将轴棱锥透镜图案作为调制图案来显示，从而以在沿着激光照射方向接近排列的多个位置形成聚光点的方式使激光聚光。
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公开(公告)号：CN105189025B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201480018920.4
申请日：2014-03-13
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： B23K26/53 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/40 , B28D5/00 , C03B33/09 , G02B3/08 , H01L21/301
摘要： 激光加工装置通过将激光聚光于加工对象物而沿着切断预定线在加工对象物的内部形成改质区域。激光加工装置具备将激光射出的激光光源、调制由激光光源射出的激光的空间光调制器、及将通过空间光调制器调制后的激光聚光在加工对象物的聚光光学系统。空间光调制器通过将轴棱锥透镜图案作为调制图案来显示，从而以在沿着激光照射方向接近排列的多个位置形成聚光点的方式使激光聚光。
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公开(公告)号：CN105209219B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201480019047.0
申请日：2014-03-13
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： B23K26/0057 , B23K26/0617 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/0736 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K2103/50 , B28D5/00 , C03B33/0222 , Y02P40/57
摘要： 激光加工装置具备将激光(L)射出的激光光源(202)、调制由激光光源(202)射出的激光(L)的空间光调制器(203)、及将通过空间光调制器(203)调制后的激光聚光在加工对象物(1)的聚光光学系统(204)，多列的改质区域(7)至少包含：位于激光入射面侧的入射面侧改质区域、位于激光入射面的相反面侧的相反面侧改质区域、及位于入射面侧改质区域与相反面侧改质区域之间的中间改质区域。空间光调制器(203)在形成中间改质区域的情况下，通过将轴棱锥透镜图案作为调制图案显示，从而以在沿着激光照射方向接近排列的多个位置形成聚光点的方式使激光聚光，并且在形成入射面侧改质区域及相反面侧改质区域的情况下，不将轴棱锥透镜图案作为调制图案显示，由此提高加工品质。
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公开(公告)号：CN105324207A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201480018906.4
申请日：2014-03-13
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： B23K26/53 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/40 , H01L21/301
CPC分类号： B23K26/0624 , B23K26/0006 , B23K26/03 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0853 , B23K26/53 , B23K2103/52 , B23K2103/54 , B23K2103/56
摘要： 激光加工装置是通过将超短脉冲光的激光聚光在加工对象物(1)从而在加工对象物(1)形成改质区域(7)的激光加工装置，具备将激光(L)射出的激光光源(202)、将由激光光源(202)射出的激光(L)聚光在加工对象物(1)的聚光光学系统(4)、及对由聚光光学系统(4)聚光在加工对象物(1)的激光(L)赋予像差的像差赋予部(203)，在激光(L)的光轴方向上，在将由于将激光(L)聚光在加工对象物(1)而在该聚光位置产生的像差、即聚光产生像差的范围作为基准像差范围的情况下，像差赋予部(203)以将在光轴方向上比基准像差范围更长的长条范围作为像差的范围来具有，并且光轴方向上的激光的强度分布具有在长条范围连续的强弱的方式对激光赋予第1像差，由此提高加工品质。
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公开(公告)号：CN105008085B
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201380062649.X
申请日：2013-11-29
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/00 , B23K26/064 , B23K26/38 , B23K26/40
CPC分类号： H01L21/268 , B23K26/0006 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/38 , B23K26/53 , B23K26/55 , B23K2103/50 , H01L21/67115
摘要： 激光加工装置(1)是通过对加工对象物(S)照射激光(L)而在加工对象物(S)形成改质区域(R)的装置。激光加工装置(1)具备：激光光源(2)，其出射激光(L)；载置台(8)，其支撑加工对象物(S)；以及光学系统(11)，其使从激光光源(2)出射的激光(L)中包围包含该激光(L)的光轴的中央部的环状部，聚光于被载置台(8)支撑的加工对象物(S)的规定部。光学系统(11)根据加工对象物(S)中规定部的位置，调整激光(L)的环状部的内缘和外缘中的至少一者的形状。
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