发明公开
CN105008278A 碳化硅的制造方法及碳化硅
无效 - 驳回
- 专利标题: 碳化硅的制造方法及碳化硅
- 专利标题(英): Method for producing silicon carbide and silicon carbide
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申请号: CN201480010278.5申请日: 2014-01-30
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公开(公告)号: CN105008278A公开(公告)日: 2015-10-28
- 发明人: 星亮二 , 松本克 , 青木良隆 , 松井智波
- 申请人: 信越半导体股份有限公司 , 信越化学工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 信越半导体股份有限公司,信越化学工业株式会社
- 当前专利权人: 信越半导体股份有限公司,信越化学工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 隆天知识产权代理有限公司
- 代理商 李英艳; 洪燕
- 优先权: 2013-035713 2013.02.26 JP
- 国际申请: PCT/JP2014/000469 2014.01.30
- 国际公布: WO2014/132561 JA 2014.09.04
- 进入国家日期: 2015-08-25
- 主分类号: C01B31/36
- IPC分类号: C01B31/36 ; C30B29/06
摘要:
本发明提供一种碳化硅的制造方法,所述方法是在硅晶制造装置内设置碳材加热器,并在非氧化性环境下,通过所述碳材加热器加热并被容纳在容器内的硅熔体来制造硅晶,此时,在所述碳材加热器的表面附带地形成碳化硅,并通过回收该副产物碳化硅来制造碳化硅。由此,能够以低成本、低能耗来制造碳化硅。